主動(dòng)隔振平臺(tái)STACIS IIIc

簡(jiǎn)要描述：概述 STACIS IIIc是STACIS III**主動(dòng)隔振系統(tǒng)的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。 STACIS IIIc非常適合在沒(méi)有或地板很低的活動(dòng)地板上使用，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)STACIS III系

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2026-02-10
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概述

STACIS IIIc是STACIS III**主動(dòng)隔振系統(tǒng)的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

STACIS IIIc非常適合在沒(méi)有或地板很低的活動(dòng)地板上使用，因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)STACIS III系統(tǒng)的高度會(huì)使儀器過(guò)高。

在三隔離器配置中，隔離器高度小于常規(guī)STACIS III高度的60％。在具有3個(gè)以上隔離器的系統(tǒng)中，高度將在60％到70％之間，具體取決于有效負(fù)載設(shè)置。有關(guān)詳細(xì)信息，請(qǐng)參見(jiàn)下面的規(guī)格。

STACIS IIIc優(yōu)勢(shì)

與常規(guī)STACIS III系統(tǒng)相比，隔離器高度**多降低42％，而性能卻沒(méi)有降低。

STACIS比空氣隔振器堅(jiān)固數(shù)百倍，沒(méi)有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性。它沒(méi)有“軟"懸架，與主動(dòng)空氣系統(tǒng)不同，STACIS可以放置在帶有內(nèi)部主動(dòng)空氣隔振系統(tǒng)的工具下方，使兩個(gè)系統(tǒng)都在**狀態(tài)下運(yùn)行。

的串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)

可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz至150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開(kāi)始減振90％的**主動(dòng)隔振性能。

性能

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)

性能規(guī)格

規(guī)格

主動(dòng)自由度	6
主動(dòng)帶寬	0.6 Hz - 150 Hz
被動(dòng)固有頻率	18 Hz垂直和水平
有效的主動(dòng)共振頻率	0.5 Hz
1 Hz時(shí)的隔振	40% - 70%
≥2 Hz時(shí)的隔振	≥90%
10磅（4.5千克）步進(jìn)輸入后的穩(wěn)定時(shí)間（減少10:1）	0.3秒
內(nèi)部噪音	<0.1 nm RMSd>
每個(gè)隔振器的工作負(fù)載范圍	低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）
剛度（1000磅/454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器）	40,000磅/英寸(73 x 10⁵牛/米)
從距離隔振器**4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場(chǎng)	<0.02 μG broadbａnd RMSd>

隔振器設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全	符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
主動(dòng)隔振元件	**小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動(dòng)器接收來(lái)自高壓放大器的信號(hào)，其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷
被動(dòng)隔振元件	單個(gè)硬質(zhì)各向同性彈性體（無(wú)需壓縮空氣源）
振動(dòng)傳感器元件	向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng)，并提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓
主動(dòng)反饋控制回路	在支撐隔振表面的彈簧下方測(cè)量、處理和衰減地面振動(dòng)
隔振器尺寸（寬x深x高）	14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height.
隔振器重量	53磅（24千克）
工作溫度	50° - 90° F 10° - 32° C
儲(chǔ)存溫度	-40° - 130° F -40° - 55° C
濕度	30 - 60%
系統(tǒng)電源要求	100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC； <600 W 符合CE標(biāo)準(zhǔn)
地面位移	<480 μin. (12 μm) below 10 Hzd>
每個(gè)系統(tǒng)的隔振器數(shù)量	至少3個(gè)
可選附件	層壓不銹鋼平臺(tái)、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩

DC-2020控制器規(guī)格

尺寸（寬 x 深 x 高）	19 x 8.5 x 1.75英寸 483 x 216 x 45 mm
重量	6.3磅（2.9千克）
處理器	150/75 MHz雙核
采樣率	10 kHz
模擬輸出	16個(gè)通道
模擬輸入	16個(gè)通道
狀態(tài)燈	單個(gè)LED
前面板端口	1個(gè)串行USB 2.0 1個(gè)串行Micro-USB 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 2個(gè)BNC
后面板端口	1個(gè)串行USB 2.0 1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45 1個(gè)RS-232 DB-9傳統(tǒng)串行，用于傳統(tǒng)的STACIS 2100隔振器
用戶界面	前面板液晶顯示屏超級(jí)終端上的字符菜單適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI 嵌入式以太網(wǎng)GUI

STACIS用戶及應(yīng)用領(lǐng)域
1、微電子、半導(dǎo)體
? 晶片檢測(cè)
? 顯微光刻技術(shù)
? 掩膜校準(zhǔn)
2、科學(xué)研究、納米技術(shù)
? SEM、TEM
? STEM、SPM
3、激光臺(tái)
? 生命科學(xué)、藥物研發(fā)
4、工業(yè)應(yīng)用
? 精密加工

為什么要選擇主動(dòng)系統(tǒng)？
? 從<1Hz開(kāi)始強(qiáng)烈消除地面震動(dòng)，氣動(dòng)平臺(tái)在這一低頻處無(wú)法起到有效的隔振
? 提高質(zhì)量、生產(chǎn)量
? 更加細(xì)小特色的成像能力
? 前沿研究
? 比氣動(dòng)平臺(tái)更穩(wěn)定
? 滿足SEM標(biāo)準(zhǔn)地點(diǎn)安裝參數(shù)的**解決方案
? 使得新實(shí)驗(yàn)室及研究設(shè)備的工程造價(jià)更低

主動(dòng)系統(tǒng)為何選擇STACIS
? 正中了科研者的的心聲，提供了盡可能**的無(wú)震環(huán)境。
? 市場(chǎng)上**強(qiáng)勁的低頻隔振系統(tǒng)。
? 目前所有的SEM廠商都公布了安裝參數(shù)要求，其需要的震動(dòng)參數(shù)需要主動(dòng)隔振系統(tǒng)才能滿足。
? STACIS**發(fā)明于1990s，經(jīng)TMC進(jìn)一步發(fā)展，開(kāi)發(fā)和安裝了數(shù)以千計(jì)的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，這是主動(dòng)隔振控制領(lǐng)域的提供的可靠解決方案。

STACIS相比氣動(dòng)隔離器剛性大幾百倍
穩(wěn)定時(shí)間作為對(duì)擾動(dòng)的響應(yīng)，由于的串聯(lián)式設(shè)計(jì)，而大大縮短，理想應(yīng)用于機(jī)械制造、動(dòng)態(tài)負(fù)載、激光或者光源需要安裝的獨(dú)立剛性臺(tái)面的情況下。

如下優(yōu)勢(shì)在業(yè)內(nèi)都是**的
? STACIS的主動(dòng)隔振帶寬為0.6Hz -150Hz
? 6個(gè)自由度的主動(dòng)震動(dòng)消除，在1Hz時(shí)隔振8-10dB
? 從2-3Hz時(shí)，隔振可達(dá)90% (20dB)

專業(yè)的環(huán)境調(diào)查
1、安裝前后的環(huán)境調(diào)查，包括震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波
2、安裝后可提供環(huán)境系統(tǒng)體系認(rèn)證
? 完善的環(huán)境調(diào)查服務(wù)
? 開(kāi)具專業(yè)環(huán)境報(bào)告
? 提供震動(dòng)、磁場(chǎng)、聲波檢測(cè)及解決方案
? TMC基于其廣泛經(jīng)驗(yàn)向用戶推薦實(shí)用性方案
? 40多年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，業(yè)內(nèi)的**

應(yīng)用照片